去離子水(deionized water)是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。

　　在半導體行業中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。

　　去離子純水機產品主要用途

　　1、制取電子工業生產如顯像管玻殼、顯像管、單晶硅半導體、綾路板、液晶顯示器、計算器硬盤和集成電路芯片等工藝所需的超純水;

　　2、制取電力行業發電鍋爐和廠礦企業中、低壓鍋爐給水所需的軟化水、除鹽水;

　　3、制取醫藥行業所需的醫用大輸液、藥劑、注射劑、生化制品純水、醫用無菌水和人工腎透析用純水;

　　4、制取飲料(含酒類)行業的飲用純凈水、蒸餾水、酒類生產勾兌用純水以及啤酒糖化投料用水和純生啤酒過濾等;

　　5、制取化工行業制造過程所需的工藝純水;

　　6、制造紡織印染工藝所需的除硬度除鹽水;

　　7、制取光學玻璃鍍膜前清洗用純水、超純水;

　　8、制取電鍍工藝用去離子水、電池生產工藝用純水以及汽車、家電、建材產品表面涂裝和清洗用純水;

　　9、海水、苦咸水制取生活用水和飲用水;

　　10、賓館、樓宇、社區、機場房產屋業的優質供水網絡系統和泳池循環水處理系統;

　　11、制取實驗室用蒸餾水。

　　去離子水的處理步驟

　　從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：

　　1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質

　　2、然后高壓通過反滲透膜

　　3、最后一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物

　　4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。

　　相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電導率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水。